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電子類醫(yī)療

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無油微型真空泵應(yīng)用特點(diǎn)

點(diǎn)擊:4746 日期:2019-09-11 選擇字號(hào):
無油微型真空泵應(yīng)用特點(diǎn)
  微型真空泵系統(tǒng)集成化,不使用電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng),增加了電子控制系統(tǒng)讓整個(gè)真空泵的控制完全擺脫了人工操作實(shí)現(xiàn)了液體傳輸?shù)木珳?zhǔn),真正意義上實(shí)現(xiàn)了微型化和智能化產(chǎn)品,所以又被稱為電子氣泵,微型真空泵。還被稱為,微型負(fù)壓泵, 微型真空泵, 微型氣體循環(huán)泵,微型氣泵,微型氣體采樣泵,微型打氣泵,微型抽氣泵,微型抽氣打氣兩用泵等。
  電子半導(dǎo)體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設(shè)備、離子刻蝕機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、物理氣相沉積設(shè)備、分子束外延設(shè)備、集成電路封裝、等其他半導(dǎo)體應(yīng)用設(shè)備。均在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測(cè)試設(shè)備,機(jī)械手,自動(dòng)化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。部份還有要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零,以保護(hù)工件免受污染。 

 微型真空泵壽命長(zhǎng),體積更小,重量更輕,結(jié)構(gòu)更加合理。完全實(shí)現(xiàn)了免維護(hù),而且泵內(nèi)無油,不污真空泵染傳輸介質(zhì),比其他泵符合電子半導(dǎo)體行業(yè)要求。

無油真空泵

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